Главная » Каталог    
рефераты Разделы рефераты
рефераты
рефератыГлавная

рефератыБиология

рефератыБухгалтерский учет и аудит

рефератыВоенная кафедра

рефератыГеография

рефератыГеология

рефератыГрафология

рефератыДеньги и кредит

рефератыЕстествознание

рефератыЗоология

рефератыИнвестиции

рефератыИностранные языки

рефератыИскусство

рефератыИстория

рефератыКартография

рефератыКомпьютерные сети

рефератыКомпьютеры ЭВМ

рефератыКосметология

рефератыКультурология

рефератыЛитература

рефератыМаркетинг

рефератыМатематика

рефератыМашиностроение

рефератыМедицина

рефератыМенеджмент

рефератыМузыка

рефератыНаука и техника

рефератыПедагогика

рефератыПраво

рефератыПромышленность производство

рефератыРадиоэлектроника

рефератыРеклама

рефератыРефераты по геологии

рефератыМедицинские наукам

рефератыУправление

рефератыФизика

рефератыФилософия

рефератыФинансы

рефератыФотография

рефератыХимия

рефератыЭкономика

рефераты
рефераты Информация рефераты
рефераты
рефераты

Расчет характеристик канала вывода СИ синхротронного излучения


Основные свойства синхротронного излучения.
Синхротронное излучение (СИ) испускается заряженными
частицами (электронами, протонами, позитронами), движущимися с релятивистскими
скоростями по искривлен­ным траекториям. Генерация СИ обусловлена наличием у
частицы центростремитель­ного ускорения. Предсказанное в конце прошлого века и
открытое почти 50 лет назад (1945г.) СИ рассматривалось вначале как “помеха” в
работе циклических ускорителей - синхротронов. Только в последние 10¼15
лет СИ привлекло внимание исследователей исключительным богатством своих
специфических свойств и возможностью их примене­ния.
Структура  накопителя электронов.
ПМ-поворотные
магниты; В-магнитное поле; Р-вектор поляризации фотонов,
излу­чаемых в плоскости орбиты электронов;
Щ-щель канала вывода, ограничивающая ширину пучка СИ по
горизонтали.
Си обладает следующими уникальными свойствами:
1.
СИ - излучение с исключительно высокой коллимацией пучка. Пучок СИ испускается
электроном по касательной к траектории и имеет угловую расходимость y»g-1, где g -
релятивистский фактор (отношение энергии электронов Е в накопителе к энергии
покоя электрона Е0=0.511МэВ);
для типичных значений Е»1ГэВ имеем g»103 и y»1мра¶.
2.
СИ обладает широким, непрерывным, легко перестраиваемым спектром, перекры­вающим
практически весь рентгеновский диапазон и область ультрафиолетового излуче­ния
(0.1¼100нм).
Для описания спектральных  свойств СИ
вводится понятие крити­ческой длины волны lс. Это длина волны, которая делит
энергетический спектр СИ на две равные части (суммарная энергия излучаемых
фотонов с длинами волн меньше lс равна суммарной энергии фотонов с
длинами волн больше lс).
3.
СИ обладает очень высокой интенсивностью. Интенсивность СИ в наиболее важ­ном
для исследований и технологии рентгеновском диапазоне более чем на пять
порядков превышает интенсивность рентгеновских трубок.
4.СИ
обладает естественной поляризацией: строго линейной на оси пучка (вектор
электрического поля лежит в плоскости орбиты электронов) и строго циркулярной
на его периферии. Поляризация СИ играет важную роль во многих прецизионных
методах исследования материалов и структур микроэлектроники.
Перечисленные выше уникальные свойства синхротронного
излучения позволяют под­нять на новый качественный уровень субмикронную
микротехнологию и аналитические методы диагностики субмикронных функциональных
структур.
Контраст в системах экспонирования с применением синхротронного излучения.
Рентгенолитография с применением синхротронного излучения -
это многофакторный технологический процесс, в котором важную роль играют
параметры многих компонен­тов литографической системы: источника излучения,
канала вывода, рентгеношаблона, рентгенорезиста.
Главный фактор, определяющий потенциальные возможности того
или иного лито­графического метода в микротехнологии СБИС -  разрешение или минимальный размер надежно
воспроизводимого в резисте элемента рентгеношаблона. В рентгенолитографии
разрешение определяется, с одной стороны, волновой природой рентгеновского
излучения (дифракционные искажения), с другой стороны, нелокальным характером
формирования реального скрытого изображения (генерация фото- и  оже- электронов рентгеновскими фотонами и
вторичное экспонирование резиста этими электронами). Кроме того, реаль­ное
технологическое разрешение очень сильно зависит от процесса проявления
полученного скрытого изображения.
Для оценки эффективности работы рентгенолитографической
системы экспонирова­ния в той или иной области спектра нужно учитывать не
только спектральную эффек­тивность рентгенорезиста, но и рентгеновскую
прозрачность, то есть оптические характеристики литографического канала вывода
СИ. Поэтому в системах экспониро­вания с применением рентгеновского излучения
(например, в рентгенолитографических системах экспонирования) одним из важных
параметров является контраст получаемого рентгеновского изображения (например
контраст скрытого изображения в рентгеноре­зисте).
Схема рентгенографической системы
экспонирования в пучках СИ.
1-вакуумное
окно; 2-мембрана
рентгеношаблона; 3-маска; 4-резист; 5-рабочая пластина.
Московский Государственный Институт Электронной Техники
технический университет
               Кафедра          Субмикронной
технологии
Курсовая работа
Расчет оптических характеристик
канала вывода СИ
Выполнил
студент гр. МТ-42 Гаврилов А. В.
Принял
Матвеев В. М.
Москва 1996г.
.MCD
30001 1 74
.CMD
PLOTFORMAT
0 0 1 0
0
0 0 1 0
0
0 1 0 0
NO-TRACE-STRING
0 2 1 0
NO-TRACE-STRING
0 3 2 0
NO-TRACE-STRING
0 4 3 0
NO-TRACE-STRING
0 1 4 0
NO-TRACE-STRING
0 2 5 0
NO-TRACE-STRING
0 3 6 0
NO-TRACE-STRING
0 4 0 0
NO-TRACE-STRING
0 1 1 0
NO-TRACE-STRING
0 2 2 0
NO-TRACE-STRING
0 3 3 0
NO-TRACE-STRING
0 4 4 0
NO-TRACE-STRING
0 1 5 0
NO-TRACE-STRING
0 2 6 0
NO-TRACE-STRING
0 3 0 0
NO-TRACE-STRING
0 4 1 0
NO-TRACE-STRING
0 1 21
15
.CMD
FORMAT  rd=d ct=10 im=i et=3 zt=15 pr=5
¬бб ¤«Ё­ ўpҐ¬п §ап¤
.CMD
SET ORIGIN 1
.CMD
SET TOL 0.000100000000000
.CMD
SET PRNCOLWIDTH 8
.CMD
SET PRNPRECISION 4
.CMD
PRINT_SETUP 1.000000 0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=0 name=Variables
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=1 name=Constants
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=2 name=Text
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=3 name=Greek^Variables
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=4 name=‡аголовок
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=5 name=User^2
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=6 name=User^3
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=7 name=User^4
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=8 name=User^5
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=9 name=User^6
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=0 family=Times^New^Roman points=12 bold=0 italic=0
underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=1 family=Tms^Rmn points=12 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=2 family=Times^New^Roman^Cyr points=12 bold=0 italic=1
underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=3 family=Symbol points=12 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=4 family=Arial points=20 bold=1 italic=1 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=5 family=Courier points=10 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=6 family=System points=10 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD DEFINE_FONTSTYLE
fontID=7 family=Script points=10 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=8 family=Terminal points=0 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
DEFINE_FONTSTYLE fontID=9 family=Modern points=10 bold=0 italic=0 underline=0
.CMD
UNITS U=1
.TXT 4
1 0 0
C
b32000,584,103
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{\f0 \fs40 \b \i \ulnone ђасзев
 опвизеские еаракверисвик канала\par   
                       влвода ‘€}{}}
}
.TXT 9
0 0 0
C
b32000,584,95
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{                            
                   }{}{\f1 \fs24 \b \i \ul
сеоднле
даннле.}{}}
}
.TXT 4
0 0 0
C
a242,584,39
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{ќнергип нлеквронов в накопивеле:}{}}
}
.EQN 0
56 0 0
E:1.6
.TXT 0
10 0 0
C
a28,360,10
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{ѓн‚}{}}
}
.TXT 3
-66 0 0
C
a156,584,26
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Њагнивнап индгкжип:}{}}
}
.EQN 0
56 0 0
B:0.6
.TXT 0
10 0 0
C a29,344,9
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{’л}{}}
}
.TXT 3
-66 0 0
C
a323,584,30
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{„лина канала влвода ‘€:}{}}
}
.EQN 0
57 0 0
L:10
.TXT 0
9 0 0
C
a26,320,8
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{м}{}}
}
.TXT 4
-66 0 0
C
a160,584,26
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{’олйина окна из Be:}{}}
}
.EQN 0
50 0 0
h.Be:200*(10)^(-4)
.TXT 0
16 0 0
C
a17,296,9
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{см}{}}
}
.TXT 4
-66 0 0
C
a310,584,43
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{’олйина Si-мембранл ренвгеноиабло
на:}{}}
}
.EQN 0
52 0 0
h.Si:2*(10)^(-4)
.TXT 0
14 0 0
C
a17,240,9
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{см}{}}
}
.TXT 4
-66 0 0
C
a249,584,39
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{’олйина маскиргойего слоп из
Au:}{}}
}
.EQN 0
53 0 0
h.Au:(10)^(-4)
.TXT 0
13 0 0
C
a17,240,9
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{см}{}}
}
.TXT 5
-66 0 0
C
b32000,584,96
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{                            
    }{}{\f1 \fs24 \b \i \ul ђасзев опвизе
ские
еаракверисвик.}{}}
}
.TXT 5
0 0 0
C
a214,584,34
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Љривизескап длина волнл ‘€:}{}}
}
.EQN 0
35 0 0
{3}l.00:(18.6)/((E)^(2)*B)
.TXT 6
-35 0 0
C
b32000,584,19
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Њойносвм ‘€:}{}}
}
.EQN 9
0 0 0
P({3}l):0.3253*{3}p*((E)^(4)*B)/((L)^(2)*exp(({3}l.00)/({3}l)))*((({3}l.00)/({3}l)))^(2)*((1+(7*(({3}l.00)/({3}l)+2))/(36*((({3}l.00)/({3}l)+1.45))^(2)-44.39)))^(2)
.TXT 11
0 0 0
C
b32000,584,79
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Љонддижиенвл ослабленип ‘€, при
 проеождении зерез мавериалл: Be, Si, Au.}{}}
}
.EQN 5
0 0 0
K.Be({3}l):exp(-h.Be*if(log({3}l)<0.9,0.5*({3}l)^(3.055),0.61*({3}l)^(2.973)))
.EQN 5
0 0 0
K.Si({3}l):exp(-h.Si*if(log({3}l)<0.83,45.88*({3}l)^(2.774),4.225*({3}l)^(2.693)))
.EQN 5
0 0 0
K.Au({3}l):exp(-h.Au*if(log({3}l)<0.75,3536*({3}l)^(1.73),1353*({3}l)^(2.51)))
.TXT 6
0 0 0
C
b32000,584,123
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{ђасзев зназений длин волн, при
 коворле мойносвм ‘€ максималмна\par (}{}{\f1
\fs24
\b0 \i \ul приближенле зназенип}{}{):}{}}
}
.TXT 6
6 0 0
C
a157,536,19
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{- исеодного:}{}}
}
.EQN 0
30 0 0
{3}l.0:0.5*{3}l.00
.TXT 4
-30 0 0
C
a282,536,34
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{- проиедиего зерез Be и Si:}{}}
}
.EQN 0
30 0 0
{3}l.1:3.2
.TXT 4
-30 0 0
C
a219,536,38
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{- проиедиего зерез Be, Si и Au:}{}}
}
.EQN 0
30 0 0
{3}l.2:2.3
.EQN 4
-36 0 0
Given
.EQN 2
28 0 0
{3}l.0"P({3}l.0)з0
.TXT 4
18 0 0
C
a145,216,40
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Ѓлок\par диддеренжиалмнле\par
гравнений}{}}
}
.EQN 3
-37 0 0
{3}l.1"(P({3}l.1)*K.Be({3}l.1)*K.Si({3}l.1))з0
.EQN 7
-9 0 0
{3}l.2"(P({3}l.2)*K.Be({3}l.2)*K.Si({3}l.2)*K.Au({3}l.2))з0
.TXT 4
0 0 0
C
x1,1,0,0
.TXT 7
2 0 0
C
a329,584,111
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Ќаеождение }{}{\f1 \fs24 \b0
\i \ul
вознле зназений}{}{ длин волн,\par
при
коворле мойносвм ‘€ максималмна:}{}}
}
.EQN 1
41 0 0
({3,1}ж{3}l.2ж{3}l.1ж{3}l.0):find({3}l.0,{3}l.1,{3}l.2)
.TXT 9
-43 0 0
C
b32000,584,103
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{”гнкжии }{распределенип мойносви
 ‘€ после проеожденип зерез мавериалл\par
Be, Si
и Au сооввевсввенно:}{}}
}
.EQN 7
13 0 0
Be({3}l):if(K.Be({3}l)<(10)^(-3),P({3}l.0)*(10)^(-4),P({3}l)*K.Be({3}l))
.EQN 5
0 0 0
Si({3}l):if(K.Si({3}l)<(10)^(-3),P({3}l.0)*(10)^(-4),Be({3}l)*K.Si({3}l))
.EQN 5
0 0 0
Au({3}l):if(K.Au({3}l)<(10)^(-3),P({3}l.0)*(10)^(-4),Si({3}l)*K.Au({3}l))
.TXT 5
-13 0 0
C
a392,584,57
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{€нвервал до кривизеской длинл
 волнл разбиваевсп на}{}}
}
.EQN 0
49 0 0
N:500
.TXT 0
8 0 0
C
a47,112,13
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{возек.}{}}
}
.TXT 3
-57 0 0
C
a413,584,60
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{€нвервал после кривизеской дли
нл
волнл разбиваевсп на}{}}
}
.EQN 0
52 0 0
n:100
.TXT 0
8 0 0
C
a47,112,13
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{возек.}{}}
}
.TXT 3
-60 0 0
C
a368,584,55
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{ђасзев ведевсп по всемг спеквралм
номг
инвервалг:}{}}
}
.EQN 0
47 0 0
z:0;(N+n)
.EQN 6
-34 0 0
A:(log({3}l.00))/(N)
.EQN 0
21 0 0
B:(log(1000)-log({3}l.00))/(n)
.TXT 5
-34 0 0
C
b32000,584,61
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Љаждой возке свавивсп в сооввев
сввие
своп длина волнл:}{}}
}
.EQN 5
16 0 0
{3}l(z):if(z>N,(10)^(B*(z-N)+log({3}l.00)),(10)^(A*z))
.TXT 5
-16 0 0
C
b32000,584,57
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{€нвегралмнап мойносвм ‘€ проиедиего
 зерез Be и Si:}{}}
}
.EQN 4
11 0 0
P.1:z$(({3}l(z+1)-{3}l(z))*P({3}l(z))*K.Be({3}l(z))*K.Si({3}l(z)))
.TXT 7
-11 0 0
C
b32000,584,61
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{€нвегралмнап мойносвм ‘€ проиедиего
 зерез Be, Si и Au:}{}}
}
.EQN 4
5 0 0
P.2:z$(({3}l(z+1)-{3}l(z))*P({3}l(z))*K.Be({3}l(z))*K.Si({3}l(z))*K.Au({3}l(z)))
.TXT 8
-5 0 0
C
a331,584,48
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Љонврасв по пропгсканио ренвге
ноиаблоном:}{}}
}
.EQN 0
52 0 0
(P.1)/(P.2)=?_n_u_l_l_
.TXT 8
-52 0 0
C
a384,584,53
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{Љонврасв по поглойенио в ЏЊЊЂ-ре
нвгенорезисве:}{}}
}
.EQN 0
52 0 0
(P.1*({3}l.1)^(3))/(P.2*({3}l.2)^(3))=?_n_u_l_l_
.TXT 5
-52 0 0
C
x1,1,0,0
.TXT 9
0 0 0
C
b32000,584,104
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{              }{}{\f1 \fs24 \b
\i \ul
аспределение мойносви ‘€ по всемг
 спеквралмномг инвервалг.}{}}
}
.EQN 1
0 0 0
P({3}l.0)&P({3}l.0)*(10)^(-3)&P({3}l(z)),Be({3}l(z)),Si({3}l(z)),Au({3}l(z))@1000&1&{3}l(z)
1 0 1 1
0
1 0 0 1
0
0 4 2 0
NO-TRACE-STRING
0 2 1 0
NO-TRACE-STRING
0 1 6 0
NO-TRACE-STRING
0 3 0 0
NO-TRACE-STRING
0 1 4 0
NO-TRACE-STRING
0 2 5 0
NO-TRACE-STRING
0 3 6 0
NO-TRACE-STRING
0 4 0 0
NO-TRACE-STRING
0 1 1 0
NO-TRACE-STRING
0 2 2 0
NO-TRACE-STRING
0 3 3 0
NO-TRACE-STRING
0 4 4 0
NO-TRACE-STRING
0 1 5 0
NO-TRACE-STRING
0 2 6 0
NO-TRACE-STRING
0 3 0 0
NO-TRACE-STRING
0 4 1 0
NO-TRACE-STRING
0 1 62
43
.TXT 62
0 0 0
C
b32000,584,105
{\rtf1\ansi
\deff1
{\fonttbl
{\f0\fnil
Arial Cyr;}
{\f1\fnil
Times New Roman Cyr;}
}
{\plain
{}{                         }{}{\f1
\fs24
\b \i \ul ‘пеквр распределенип мой
носви
в пределае 1 нм.}{}}
}
.EQN 1
0 0 0
P({3}l.0)&P({3}l.0)*(10)^(-3)&P({3}l(z)),Be({3}l(z)),Si({3}l(z)),Au({3}l(z))@10&1&{3}l(z)
1 0 1 1
0
1 0 0 1
0
0 4 2 0
NO-TRACE-STRING
0 2 1 0
NO-TRACE-STRING
0 1 6 0
NO-TRACE-STRING
0 3 0 0
NO-TRACE-STRING
0 1 4 0
NO-TRACE-STRING
0 2 5 0
NO-TRACE-STRING
0 3 6 0
NO-TRACE-STRING
0 4 0 0
NO-TRACE-STRING
0 1 1 0
NO-TRACE-STRING
0 2 2 0
NO-TRACE-STRING
0 3 3 0
NO-TRACE-STRING
0 4 4 0
NO-TRACE-STRING
0 1 5 0
NO-TRACE-STRING
0 2 6 0
NO-TRACE-STRING
0 3 0 0
NO-TRACE-STRING
0 4 1 0
NO-TRACE-STRING
0 1 62
43
рефераты Рекомендуем рефератырефераты

     
Рефераты @2011